平坦度測定器

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CMP装置や両面研磨装置における、研磨パッドや定盤の平坦度を測定する装置です。ウェーハに直接接触するパッド・定盤の定量的な平坦度管理は品質管理において不可欠となりつつあります。

 測定する定盤に測定子を接触させ、平行移動させることにより平坦度を測定します。装置内部に平面の基準となるワイヤをもつことで測定部の管理取扱が容易になり、現場での作業性が飛躍的に向上します。

 両面機の上定盤側も測定できます。コントローラはOSにWindowsを採用し、多種の補正処理を可能にしています。また、測定部は持ち運びに便利な専用ケースに収納し、コントローラもトランクケースに一体化しています。


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