渦電流定寸装置

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本装置は既設両面ラップ装置への後付タイプです。
上定盤に渦電流式センサを1式取り付け、加工中のウェーハの厚さを測定し、設定厚さに到達したときラップ装置に停止指令を出力する事を主な目的とします。
コントローラはLAN機能を装備しています。また、上定盤温度測定等の加工品質に係わるデータの収集・制御も可能です。

渦電流定寸装置の仕様

□シリコンウェハ等
□厚さ 200~1300(mm)
□加工時間 60min(Max)


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