パラレルリンクフィードバック型位置決めステージ

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特徴
XYZ方向の直線移動と各軸回転移動の6自由度を持った精密位置決めステージです。
従来の多軸ステージは1軸ステージの組合わせが一般的であり、1軸毎の移動誤差が累積されてしまい最終的なステージの位置決め精度に影響を与えていました。本システムはパラレルリンク構造を採用することで、累積誤差がなく高剛性な位置決めステージを実現しました。
さらに各駆動軸単独でしか行えなかった位置フィードバック制御を、ステージの座標・姿勢を計測する機構を設けることで6軸フィードバック制御を行っています。
オプションでステージに加わる力を検出する6軸力覚センサ機能も用意しています。またお客様のシステムへの組込・低価格仕様についてはご相談下さい。

仕様

 ■仕様につきましては、同ページ内にあります「製品カタログ」(PDF形式)をご覧ください。



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